88843088 - 88843025 - 88848075 info@hlcgroup.ir

سامانه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)

سامانه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS-1

مقالات سنسور

سامانه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)

ارسال شده توسط amini

فناوری میکرو الکترومکانیکی یا MEMS فناوری دستگاه های مکانیکی بسیار کوچک با نیروی محرکه ی الکتریکی می باشد که در مقیاس نانو جزو نانو سامانه های الکترو مکانیکی و نانوفناوری می باشند.

سامانه های MEMS از اجزایی به اندازه ی ۱ تا ۱۰۰ میکرون(میکرو متر) ساخته می شوند و دستگاه های

MEMS محدوده ی اندازه شان از ۲۰ میکرون تا یک میلی متر می باشد.آنها معمولاً از یک واحد مرکزی

پردازش داده و چند قطعه از قبیل ریز حسگرها جهت تراکنش با بیرون تشکیل می شوند.

MEMS زمانی عملی شد که توانست با استفاده از فناوری های اصلاح شده ی ساخت قطعات نیمه هادی

که معمولاً برای ساخت قطعات الکترونیکی استفاده می شوند ساخته شود.

این فناوری ها عبارتند از: قالب گیری و آبکاری فلزی ،کنده کاری تر و خشک ،ماشین کاری با تخلیه برقی و فناوری های دیگر که امکان ساخت دستگاه های کوچک را فراهم می کنند.

یک مثال اولیه از دستگاه های MEMS، تشدید کننده است؛ یک تشدید کننده ی یکپارچه ی برقی مکانیکی.

بسته به وسیله و بازار هدف، فناوری MEMS می تواند با استفاده از چند ماده و روش مختلف ساخت عملی شود.

مواد برای ساخت MEMS:

۱٫سیلیکون:

سیلیکون در شکل بلور تکی، تقریباً یک ماده ای است که وقتی خم شود پسماند ندارد،

بنابراین تقریباً تلفات انرژی نداریم.

روش های پایه برای تولید همه ی وسیله های MEMS سیلیکونی عبارتند از رسوب دهی لایه های مواد،

الگو دهی به این لایه ها به وسیله لیتو گرافی نوری و سپس کنده کاری برای تولید شکل های مورد نیاز.

۲٫پلیمر ها:

سیلیکون بلورین هنوز ماده ای پیچیده و نسبتاً گران قیمت است.از سوی دیگر پلیمرها می توانند

در حجم عظیم و با تنوع زیاد از نظر خواص مواد تولید شوند.وسیله های MEMS را می توان از پلیمرها

با فرایندهایی مانند قالب گیری تزریقی ،نقش برجسته یا حکاکی دو سویه ساخت.

۳٫فلزها:

وقتی فلزها در محدوده ی خود به کار روند می توانند درجه ی اطمینان بالایی را نشان دهند.

فلزهای رایج شامل طلا، نیکل، آلومیوم، مس، کرومیوم، تیتانیوم، تنگستن، پلاتینیوم و نقره می باشند.

فرایندهای پایه ی MEMS:

 

نوشته شده توسط amini

پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

جهت اطلاع از آخرین اخبار محصولات و مقالات آموزشی در خبرنامه سایت عضو شوید

می خواهم به روز باشم